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Sensofar平面度測量白光干涉儀搭配0.65X物鏡,具有很大視野的物鏡和較高精度的載物臺,在平面度、平行度和臺階高度測量方面提供了較佳的表現。S neox 持續成為多功能性的先驅;這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物臺,在平面度、平行度和臺階高度量測方面提供了最佳表現。
Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀結合了高精度旋轉模塊和S neox 3D光學輪廓儀的檢測和分析功能在位置上實現全自動地3D表面測量,并結合在一起,完成全表面的3D立體測量。
全新設計的Sensofar共聚焦白光干涉儀 S neox區別于傳統白光干涉儀,將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術融于一身,測量頭內無運動部件。能夠測量不同的材質,結構,表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的三維形貌,測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體,確保了其優異的性能。配合SensoSCAN軟件系統,用戶將獲得出色的直觀操作體驗。
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