布魯克光學(xué)輪廓儀參數(shù)規(guī)格與型號(hào)適配指南
布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀提供標(biāo)準(zhǔn)化參數(shù)配置,同時(shí)支持部分模塊選配,以滿足不同用戶的多樣化需求。以下為核心參數(shù)概覽及型號(hào)適配建議:
尺寸(長×寬×高):450mm×350mm×400mm
垂直測量范圍:100μm(標(biāo)準(zhǔn)模式)/1mm(擴(kuò)展模式)
測量速度:單幀50ms-2s(取決于掃描范圍與分辨率)
接口:USB 3.0、千兆以太網(wǎng)、觸發(fā)輸入/輸出
ContourX-200-Basic(基礎(chǔ)型):標(biāo)配5×-50×物鏡,支持100μm垂直測量范圍,適合半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)平面玻璃等常規(guī)樣品的表面形貌測量。
ContourX-200-Advanced(增強(qiáng)型):增加100×物鏡與1mm擴(kuò)展測量模塊,支持更深臺(tái)階樣品(如MEMS溝槽、3D打印結(jié)構(gòu)),并可選配自動(dòng)聚焦與三維拼接功能。
高速掃描模塊:將單幀掃描時(shí)間縮短至20ms,適用于批量樣品的快速檢測;
真空適配套件:配合真空環(huán)境測試,需配置真空腔與密封接口;
多樣品臺(tái):支持最多4個(gè)樣品預(yù)定位,提升產(chǎn)線檢測效率。
若用戶主要測量芯片表面、光學(xué)鏡頭等常規(guī)樣品(臺(tái)階高度<100μm),基礎(chǔ)型已能滿足需求;若涉及MEMS器件(溝槽深度>200μm)或3D打印結(jié)構(gòu),增強(qiáng)型的1mm擴(kuò)展模式與100×物鏡更具適配性。對于需要高速檢測的產(chǎn)線場景,建議選裝高速掃描模塊,并提前與技術(shù)團(tuán)隊(duì)確認(rèn)樣品兼容性。清晰的參數(shù)與型號(hào)劃分,幫助用戶快速匹配自身需求,避免資源浪費(fèi)或性能不足,是設(shè)備實(shí)用性的重要體現(xiàn)。布魯克光學(xué)輪廓儀參數(shù)規(guī)格與型號(hào)適配指南
