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布魯克三維光學輪廓儀從設備啟動到數據分析

產品簡介

布魯克三維光學輪廓儀從設備啟動到數據分析
ContourX-500的操作流程兼顧效率與準確性,通過標準化步驟與智能化輔助功能,降低用戶學習成本。

產品型號:ContourX-500
更新時間:2025-09-25
廠商性質:代理商
訪問量:57
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布魯克三維光學輪廓儀從設備啟動到數據分析

ContourX-500的操作流程兼顧效率與準確性,通過標準化步驟與智能化輔助功能,降低用戶學習成本。

設備準備與校準

  1. 環境檢查:確保設備放置于水平臺面,溫度17-29℃、濕度30-65%,避免陽光直射與強振動源。

  2. 光學校準:開機預熱10分鐘后,啟動Vision64®軟件,選擇“系統校準"模塊,使用NIST溯源的臺階標樣(高度10μm)驗證垂直分辨率,重復測量30次的標準偏差應<0.75%。

  3. 光路對齊:放置樣品前,通過“實時預覽"功能調整物鏡焦距與光強,確保干涉條紋清晰可見。

測量流程

  1. 樣品固定:使用真空吸盤或磁性夾具固定樣品,避免手動接觸導致污染。對于曲面樣品(如透鏡),需選用專用光學夾具并調整光軸對齊。

  2. 參數設置:根據樣品特征選擇測量模式(如PSI模式適用于平滑表面,VSI模式適用于臺階結構),設置掃描范圍(最大5mm×5mm)、步長(推薦0.5μm)與拼接方式(自動或手動)。

  3. 數據采集:點擊“開始掃描"后,設備自動完成光強校準、背景校正與形貌重建,單次測量時間依區域大小而定(通常2-10分鐘)。

數據分析與導出
軟件支持三維形貌圖、截面曲線與統計報表的生成,數據可導出為CSV、DXF或圖像格式(PNG、TIFF)。通過“批量處理"功能,用戶可同時分析多個樣品的數據,并生成符合ISO 25178標準的定制化報告。

布魯克三維光學輪廓儀從設備啟動到數據分析






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