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當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章Sensofar S lynx共聚焦干涉顯微鏡用于檢查激光微加工表面的表面高度輪廓

Sensofar S lynx共聚焦干涉顯微鏡用于檢查激光微加工表面的表面高度輪廓

更新時(shí)間:2024-10-29點(diǎn)擊次數(shù):797


“共聚焦技術(shù)已被證明是一種行之有效的技術(shù),

可用于研究和表征凹痕的深度和直徑,更重要的

是,在激光加工開發(fā)過程中,它同樣適用于研究

和表征凹痕周圍的再沉積材料高度"

因滑動(dòng)表面和其他摩擦接觸件的摩擦和磨損造成的能量損失占全球能耗的 23%這個(gè)數(shù)字表明我們迫切需要能夠減輕摩擦和磨損的技術(shù)。


針對(duì)滑動(dòng)表面上微米級(jí)特征的精確激光表面毛化顯示出摩擦系數(shù)顯著降低,同時(shí)由于增加耐磨性而延長了零件的使用壽命。 


但是,存在一些限制條件可能會(huì)阻礙該技術(shù)被運(yùn)用在工業(yè)領(lǐng)域中。這一部分是與設(shè)備的成本有關(guān),因?yàn)楸砻嫣卣魉璧馁|(zhì)量通常意味著要使用昂貴的超短脈沖激光源。另外,激光表面毛化速度可能導(dǎo)致過長的處理時(shí)間。

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1.激光表面模式示意圖

激光表面毛化過程會(huì)熔化材料,而熔化掉的材料可能會(huì)堆積在凹痕周圍,成為緣沿(圖 1)。熔融層緣的高度 (h1) 對(duì)最終應(yīng)用至關(guān)重要,因?yàn)榭赡艽嬖诜浅>o密的制造公差,即滑動(dòng)面之間的最大允許高度不到 1 微米(圖3)。


此外,凹痕的深度 (h2) 也很重要:在大多數(shù)情況下,必須以 1 微米以上的精確度測(cè)量其形貌(高度)(圖 2)。


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2.激光毛化過程示意圖。h1 為熔融層高度;h2 為凹痕深度

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3.活塞滑動(dòng)面之間最大允許高度示意圖

過去,我們使用掃描電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡來檢查激光微加工表面的表面高度輪廓。如今,諸如共聚焦、干涉測(cè)量和多焦面疊加等光學(xué)測(cè)量技術(shù)讓我們可以更高的速度和足夠的分辨率對(duì)新的激光微加工程序進(jìn)行評(píng)估和研究。


但是,考慮到材料和表面類型的多樣性(拋光與不拋光、光滑與粗糙、高反射率與低反射率材料等),每種光學(xué)技術(shù)的適用情況仍受到一定限制。這也是選擇 3D 光學(xué)輪廓儀 S lynx 進(jìn)行這項(xiàng)工作的主要原因之一。此功能可快速評(píng)估各種表面。

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4.本研究中使用的樣品示例


本研究中使用的樣品為灰鑄鐵氣缸(圖 4),這種氣缸被廣泛用于內(nèi)燃機(jī)、氣缸體、泵和壓縮機(jī)等。通過珩磨工藝對(duì)氣缸進(jìn)行預(yù)處理,并將氣缸切成 30o 的樣品段,以用于檢查。


在研究了每種技術(shù)的最佳采集設(shè)置之后,我們發(fā)現(xiàn)放大倍率為 50 倍的共聚焦技術(shù)是*適合此研究的技術(shù)。

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5.經(jīng)激光毛化的灰鑄鐵氣缸片段的表面形貌,使用 S ly 在共聚焦模式下進(jìn)行測(cè)量,放大倍率分別為 10 倍(左)和 50 倍(右)

中將新的激光毛化過程與標(biāo)準(zhǔn)方法進(jìn)行了比較。可以看出,新方法顯示出,再沉積材料的高度被降低到 1 µm 以下,而在標(biāo)準(zhǔn)方法中,這個(gè)值提高了兩倍。進(jìn)一步的分析還表明,摩擦系數(shù)降低了約 25%

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6.頂行:使用標(biāo)準(zhǔn)激光毛化方法獲得的 3D 形貌和 2D 輪廓。底行:使用新的激光毛化方法獲得的 3D 形貌和 2D 輪廓


3D 光學(xué)輪廓儀 S lynx 已被證明是研究新的激光表面毛化方法的一種準(zhǔn)確、快速且易于使用的工具。


3D 光學(xué)輪廓儀可以進(jìn)行定性和定量分析,特別是,共聚焦技術(shù)已被證明是一種行之有效的技術(shù),可用于研究和表征凹痕的深度和直徑,更重要的是,在激光加工開發(fā)過程中,它同樣適用于研究和表征凹痕周圍的再沉積材料高度。


新方法提供了最佳表面,其高度幾乎為零的,并且在經(jīng)過激光工藝優(yōu)化(包括將摩擦系數(shù) (COF) 降低約 25%)后沒有再沉積材料。進(jìn)一步的研究可能會(huì)考慮使用自動(dòng)檢測(cè)和分析軟件(即,插入式 HoleSensoPRO 軟件、Sensofar),其中將自動(dòng)提取所有之前的感興趣的參數(shù)。

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