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產品簡介
布魯克三維光學輪廓儀多場景適配解決方案該設備以靈活性與擴展性著稱，適用于研發實驗室與工業生產線。其Z軸分辨率與放大倍率無關，確保不同視野下結果一致性。
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布魯克三維光學輪廓儀多場景適配解決方案
該設備以靈活性與擴展性著稱，適用于研發實驗室與工業生產線。其Z軸分辨率與放大倍率無關，確保不同視野下結果一致性。XY平臺行程150mm，支持大樣品或批量自動測量。樣品高度兼容≤100mm，反射率覆蓋0.05%至100%，從鏡面到粗糙表面均可穩定測量。操作模式支持手動/半自動切換：手動模式適配少量多批次樣品，半自動模式預設參數實現一鍵測量，提升檢測效率。防震設計與15-30℃工作溫度范圍，保障車間環境下的數據穩定性。臺階高度重復性<0.2% 1sigma，確保同批次樣品測量一致性，降低誤判風險。
機身采用輕量化合金框架，既保證結構強度又便于移動，適配電子車間有限空間。防塵蓋板可拆卸設計減少粉塵附著，延長光學系統壽命。光學鏡頭選用高透光率玻璃，經多層增透膜處理，有效降低不同材質表面反射光干擾。樣品臺彈性硅膠夾具在固定樣品的同時，避免金屬夾具對PCB線路或陶瓷外殼的劃傷。操作面板采用防水防油設計，應對車間油污、水漬濺落場景，延長設備使用壽命。基礎減震結構無需額外搭建專業平臺，降低企業投入成本，適配普通工作臺面。
在半導體領域，該設備用于測量硅晶圓薄膜厚度、光刻膠臺階高度及CMP后表面平整度，為工藝參數優化提供數據支持。精密制造行業通過其檢測刀具刃口磨損、注塑模具表面狀態，建立磨損檔案以預測部件壽命。材料科學研究中，科研人員利用其表征復合材料、金屬合金、高分子薄膜的表面特性，分析涂層均勻性與厚度變化。學術教育領域，直觀的操作界面與可視化功能使其成為表面計量學教學演示設備。設備支持多區域自動測量功能，用戶預設測量區域后，儀器可自動完成數據采集，提升復雜測量效率。
布魯克三維光學輪廓儀多場景適配解決方案