Sensofar：用材解析：穩(wěn)定測(cè)量的基礎(chǔ)保障

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Sensofar：用材解析：穩(wěn)定測(cè)量的基礎(chǔ)保障
Sensofar S neox 的性能穩(wěn)定性，源于核心部件的優(yōu)質(zhì)選材與精密設(shè)計(jì)。從光學(xué)元件到機(jī)械結(jié)構(gòu)，每類材料均針對(duì)高精度測(cè)量需求定制。

產(chǎn)品型號(hào)：S neox

更新時(shí)間：2025-09-28

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：44

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

查看全部產(chǎn)品

揭秘EUV光刻核心技術(shù)：如何用納米級(jí)測(cè)量打造下一代芯片？?

納米級(jí)平整的奧秘：CMP技術(shù)如何塑造芯片的精密世界?

應(yīng)用案例|微型 BUMPS 測(cè)量難題？SENSOFAR 3D 光學(xué)輪廓儀來解決！

詳細(xì)介紹在線留言

Sensofar：用材解析：穩(wěn)定測(cè)量的基礎(chǔ)保障

Sensofar S neox 的性能穩(wěn)定性，源于核心部件的優(yōu)質(zhì)選材與精密設(shè)計(jì)。從光學(xué)元件到機(jī)械結(jié)構(gòu)，每類材料均針對(duì)高精度測(cè)量需求定制。

光學(xué)系統(tǒng)核心采用高純度熔融石英玻璃，該材料在可見光與近紅外波段透光率超 92%，能減少光線傳播損耗，且熱膨脹系數(shù)僅 5.5×10??/℃，環(huán)境溫度變化時(shí)不易形變。科研款更升級(jí)為超低色散氟冕玻璃，可降低多波長(zhǎng)色散差異，適配光子晶體等材料研究。鏡頭表面的氧化硅與氟化鎂復(fù)合增透膜，通過離子輔助鍍膜技術(shù)提升附著力，反射率控制在 0.5% 以內(nèi)。

機(jī)械結(jié)構(gòu)方面，檢測(cè)平臺(tái)底座選用高強(qiáng)度鑄鐵，借助材質(zhì)本身的剛性與減震特性，吸收外部環(huán)境振動(dòng)干擾。臺(tái)面采用 304 不銹鋼，經(jīng)精密研磨處理，平整度誤差≤2μm，基礎(chǔ)版與進(jìn)階版可承載 5kg 樣品，定制版最大承載達(dá) 15kg。電動(dòng)平移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)部件為高強(qiáng)度合金鋼滾珠絲杠，硬度達(dá) HRC 58-62，配合伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn) 0.1μm 級(jí)移動(dòng)精度。科研款樣品臺(tái)導(dǎo)軌更采用陶瓷材料，熱膨脹系數(shù) 1.5×10??/℃，溫度波動(dòng)時(shí)仍保持 ±0.05μm 移動(dòng)精度。

用材性能關(guān)聯(lián)參數(shù)表

部件	用材規(guī)格	對(duì)應(yīng)性能優(yōu)勢(shì)
光學(xué)鏡片	熔融石英玻璃	透光率≥92%，低形變
鏡頭涂層	氧化硅 + 氟化鎂復(fù)合膜	反射率≤0.5%
樣品臺(tái)底座	高強(qiáng)度鑄鐵	減震性優(yōu)
平移臺(tái)絲杠	高強(qiáng)度合金鋼	移動(dòng)精度 0.1μm

這些用材設(shè)計(jì)讓設(shè)備在 8 小時(shí)連續(xù)工作中，垂直檢測(cè)精度變化≤0.3nm，無需恒溫恒濕設(shè)備即可在常規(guī)實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行。適用于模具表面檢測(cè)、增材制造零件分析等需長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量的場(chǎng)景，使用時(shí)只需確保臺(tái)面清潔，避免樣品放置偏移即可保障數(shù)據(jù)可靠性。

Sensofar：用材解析：穩(wěn)定測(cè)量的基礎(chǔ)保障