ZYGOZeGage Pro 適配：應(yīng)對多樣檢測需求

產(chǎn)品簡介

ZYGOZeGage Pro 適配：應(yīng)對多樣檢測需求
ZeGage Pro 通過豐富的輔助配件與軟件功能，適配不同樣品類型與檢測場景，滿足多樣化測量需求。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-09-24

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激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGOZeGage Pro 適配：應(yīng)對多樣檢測需求

ZeGage Pro 通過豐富的輔助配件與軟件功能，適配不同樣品類型與檢測場景，滿足多樣化測量需求。在輔助夾具方面，設(shè)備提供多種專用夾具：真空吸附夾具通過 - 0.08MPa 至 0MPa 的可調(diào)負(fù)壓，能平整固定薄膜、柔性電路板等易變形樣品，避免因夾持力過大導(dǎo)致樣品損壞；精密定位夾具配備微調(diào)旋鈕與光學(xué)對準(zhǔn)裝置，定位精度可達 2μm，適用于 MEMS 器件、微型傳感器等微小樣品的測量。

針對特殊樣品檢測，高溫適配夾具可在室溫至 150℃范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，滿足金屬材料高溫形變測量需求；防磁夾具采用無磁材料制作，適配磁性材料樣品檢測，避免磁場對測量結(jié)果產(chǎn)生干擾。批量檢測場景中，設(shè)備可搭配自動化上下料模塊，通過機械臂實現(xiàn)樣品的自動傳送、定位與檢測，每小時可完成 60-100 個樣品的測量，大幅提升檢測效率，減少人工成本。

ZYGOZeGage Pro 適配：應(yīng)對多樣檢測需求

軟件適配能力同樣出色，13.3 英寸高清觸控屏支持多點觸控操作，常用功能可通過手勢快捷調(diào)用，界面提供中文、英文、日文等多語言選項，滿足不同地區(qū)用戶使用需求。軟件內(nèi)置 25 + 行業(yè)專用測量模板，涵蓋半導(dǎo)體、光學(xué)元件、汽車零部件等領(lǐng)域，用戶可根據(jù)樣品類型直接調(diào)用模板，無需重新設(shè)置參數(shù)；同時支持自定義模板保存，最多可存儲 80 組自定義參數(shù)，重復(fù)檢測時直接調(diào)用，提升操作效率。“分步向?qū)? 功能為新手提供詳細(xì)操作指引，從樣品固定到數(shù)據(jù)導(dǎo)出，每個步驟都有文字與圖片提示，降低操作失誤率。