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ZYGOZeGage Pro 結構與參數:可靠測量保障

產品簡介

ZYGOZeGage Pro 結構與參數:可靠測量保障
ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設計,機身尺寸約 550mm×480mm×700mm,重量約 65kg,無需專用安裝空間,普通實驗室操作臺即可放置,節省場地資源。機身外殼選用高強度冷軋鋼板,表面經過靜電噴塑處理,具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能,長期使用仍能保持外觀整潔,同時有效隔絕外部環境對內部光學系統的干擾。

產品型號:
更新時間:2025-09-24
廠商性質:代理商
訪問量:48
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ZYGOZeGage Pro 結構與參數:可靠測量保障

ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設計,機身尺寸約 550mm×480mm×700mm,重量約 65kg,無需專用安裝空間,普通實驗室操作臺即可放置,節省場地資源。機身外殼選用高強度冷軋鋼板,表面經過靜電噴塑處理,具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能,長期使用仍能保持外觀整潔,同時有效隔絕外部環境對內部光學系統的干擾。

ZYGOZeGage Pro 結構與參數:可靠測量保障

核心光學系統密封在獨立的防塵艙內,艙體采用密封膠條密封,防止灰塵、水汽進入,保障光學元件清潔,避免因污染影響成像質量。鏡頭接口采用標準化設計,兼容 8 種常用倍率物鏡,更換物鏡時只需輕輕旋轉即可裝卸,無需復雜的校準步驟,軟件會自動識別物鏡型號并匹配相應參數,減少操作時間。樣品臺是設備的關鍵結構之一,采用精密滾珠導軌,導軌表面覆蓋耐磨涂層,確保長期移動后仍能保持精度。樣品臺 X 軸、Y 軸移動范圍均為 80mm,Z 軸移動范圍為 40mm,搭配高精度光柵尺,移動精度可達 0.05μm,能精準定位樣品測量位置。
以下為 ZeGage Pro 核心參數表:
參數類別
具體參數
測量技術
相移干涉、動態干涉、共聚焦成像
橫向分辨率
0.15μm(20x 物鏡)
縱向分辨率
0.1nm(相移干涉模式)
掃描范圍
X/Y 軸:80mm×80mm,Z 軸:40mm
樣品臺承重
15kg
樣品臺移動精度
0.05μm(XYZ 軸)
傳感器幀率
120 幀 / 秒

軟件方面,內置 ISO 4287、ASME B46.1 等國際通用標準算法,確保測量數據符合行業規范,支持與其他分析軟件的數據互通,方便后續數據處理與分析。

ZYGOZeGage Pro 結構與參數:可靠測量保障



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