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產(chǎn)品中心激光干涉儀Zygo激光干涉儀? ??Zygo光學(xué)輪廓儀的材料與參數(shù)解析?
產(chǎn)品簡介
? ??Zygo光學(xué)輪廓儀的材料與參數(shù)解析?Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀以其高分辨率和穩(wěn)定性，在微納制造領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品細(xì)節(jié)
儀器采用模塊化設(shè)計，可根據(jù)需求升級物鏡、光源和軟件功能。其光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，減少雜散光干擾，提高信噪比。
用材與工藝
•主體框架采用鋁合金，輕量且抗震。
•光學(xué)鏡片采用低膨脹系數(shù)玻璃，減少溫漂影響。
•運動平臺采用精密導(dǎo)軌，確保掃描穩(wěn)定性。
參數(shù)表（示例型號：Zygo Nexview）
•垂直測量范圍：1 nm 至 1 mm
•橫向分辨率：0.3 μm（100×物鏡）
•重復(fù)精度：±0.05 nm
•最大樣品高度：50 mm
用途
適用于光學(xué)鍍膜檢測、微電子封裝測量、精密模具表面分析等。
使用說明
1.開機(jī)后運行系統(tǒng)自檢。
2.選擇測量模式（單點、線掃描或面掃描）。
3.調(diào)整干涉對比度，優(yōu)化測量效果。
4.保存數(shù)據(jù)并生成報告。
Zygo光學(xué)輪廓儀的材料與參數(shù)解析
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