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當前位置:首頁技術文章Sensofar共聚焦白光干涉儀 共聚焦技術

Sensofar共聚焦白光干涉儀 共聚焦技術

更新時間:2024-11-26點擊次數:620

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術

共聚焦技術能夠測量表面高度,將常規圖像轉換成光學剖面,其中,物鏡焦深范圍內的那些區域的信號被保留,改善了圖像對比度、橫向分辨率和系統噪聲。

光學方案

對于 3D 成像,必須從相機的所有像素獲取數據。這意味著:重新構建共聚焦圖像。為此,多狹縫圖像偏移一個像素,達到必要的次數,以填充相機。多狹縫每偏移一次,拍一張相機圖像,對那一刻照亮的像素應用共聚焦算法。

SENSOFAR 專*技術

光學結構中沒有運動零件

Sensofar 系統中實施的共聚焦掃描技術是微顯示器掃描共聚焦顯微鏡(根據 ISO 25178 第 607 部分)。微顯示器創造了一個沒有運動零件的快速切換裝置,使得數據采集快速、可靠和準確。由于這一點和相關的算法,Sensofar 的共聚焦技術產生了優異的垂直分辨率。

專屬算法

不要現在阻止我! 連續共聚焦

共聚焦測量技術中革命性的一步,將采集時間穩步減少 3 倍。連續共聚焦模式通過同時掃描面內和 Z 軸,避免了經典共聚焦的離散(耗時)面與面采集。對于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時間至關重要。

 

主要特征

共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率,可達 0.15μm 線條和空間,空間采樣可減少到 0.01μm,這是關鍵尺寸測量的理想選擇。高 HA (0.95) 和放大倍率 (150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面,最高可允許 86°。 

   更佳的橫向分辨率: 300 nm(Rayleigh準則) 

   斜率高達 70o(光滑表面) 和 86o(粗糙表面) 

   連續共聚焦:速度堪比AiFV 

 高重復性,低至 1 nm 的系統噪聲

   從 1.5 μm 到數毫米的厚度測量

   更高程度的靈活性


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