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產品中心臺式電鏡&臺階儀&原位分析澤攸臺式掃描電鏡澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結構與高效真空
產品簡介
澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結構與高效真空臺式掃描電子顯微鏡的長期性能穩定，依賴于定期維護。ZEM20的維護重點集中在真空系統、探測器及環境控制
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澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結構與高效真空
ZEM20 采用 6061?T6 鋁合金真空腔，表面經 35?µm 硬質陽極氧化處理，放氣率僅 4.5?×?10???Pa·L·s?1·cm?2，能夠在 3?×?10???Pa 真空下穩定工作。抽氣系統由 30?L/min 隔膜泵 + 70?L/s 渦輪分子泵組成，抽真空循環時間約 3?min。
電子槍：CeB? 單晶燈絲，壽命約 1500?h，燈絲壽命監控實時顯示。
磁透鏡：三級磁透鏡（聚光、物鏡、掃描），采用 1J79 坡莫合金磁屏蔽筒（μr?>?40?000），像散校正通過 8?級掃描線圈實現。
探測器：二次電子（SE）與背散射電子（BSE）雙通道，可同步顯示并拍攝混合圖像。
樣品臺：5?軸中心馬達驅動，X/Y 行程 ≥?110?mm，Z 行程 1.5–40?mm，旋轉 360°，傾斜 -5°~70°，配備自動對中、自動對焦、自動亮度對比度（ABCC）功能。
核心參數
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 真空腔材質 | 6061?T6 鋁合金（硬質陽極氧化） |
| 極限真空 | 3?×?10???Pa |
| 抽氣系統 | 隔膜泵 30?L/min + 渦輪泵 70?L/s |
| 電子槍 | CeB? 單晶燈絲 |
| 加速電壓 | 0.5?–?30?kV（0.01?V 步進） |
| 工作距離 | 0.1?–?50?mm |
| 探測器 | SE?+?BSE |
| 樣品臺行程 | X/Y?≥?110?mm，Z?1.5?40?mm |
澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結構與高效真空