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產品簡介
ZYGO 3D光學輪廓儀的典型應用場景ZeGage Pro作為一種通用的表面形貌測量儀器，其應用范圍覆蓋了眾多需要定量表面分析的領域。
ZeGage Pro作為一種通用的表面形貌測量儀器，其應用范圍覆蓋了眾多需要定量表面分析的領域。
光學制造與檢測： 在光學行業，它被用于測量透鏡、棱鏡、反射鏡等光學元件的表面粗糙度和面形精度。同時，它可以測量增透膜、高反膜等光學薄膜的表面質量和厚度，為薄膜工藝的優化提供數據支持。
半導體與微電子： 在半導體制造中，ZeGage Pro可以用于測量硅晶圓的翹曲度（Warpage）和彎曲度（Bow），以及芯片焊盤的共面性。它還能對CMP（化學機械拋光）后的晶圓表面進行平坦度評估，并對光刻膠等薄膜的厚度進行測量。
材料科學研究： 研究人員利用ZeGage Pro來表征各種新材料表面的微觀結構，例如復合材料、涂層、陶瓷和金屬等。通過分析磨損試驗前后表面的形貌變化，可以研究材料的耐磨性能。對生物材料（如人骨、牙科材料）的表面粗糙度進行測量，有助于評估其生物相容性。
精密加工與機械： 在精密制造領域，該儀器可用于檢測加工件（如軸承、滑塊、密封件）的表面紋理、劃痕、凹坑等缺陷，并定量評估拋光、研磨、車削等不同加工工藝所能達到的表面質量水平。
能源與顯示技術： 在太陽能電池行業，可用于測量減反射絨面的結構，以優化其陷光效果。在顯示領域，可用于測量OLED、微LED等器件薄膜的平整度和封裝質量。
這些應用實例表明，ZeGage Pro作為一種測量工具，能夠為產品研發、工藝改進和質量控制提供客觀的、量化的表面數據，幫助用戶理解和控制產品表面的特性。
