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臺式電鏡&臺階儀&原位分析
澤攸臺階儀
澤攸全自動臺階儀參數與用材解析
澤攸全自動臺階儀參數與用材解析全自動臺階儀 JS3000B 作為用于表面形貌測量的設備,其參數配置與用材選擇直接關系到設備的使用效果與穩定性,是用戶了解該設備的重要切入點。
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在核心參數方面,該設備的測量范圍覆蓋多個維度。垂直測量范圍能夠滿足多數常見樣品的臺階高度測量需求,從微小的納米級臺階到一定毫米級的高度差均可應對;水平測量范圍則可適配不同尺寸的樣品,無論是小型芯片還是較大規格的基板,都能在設備上完成測量。分辨率是臺階儀的關鍵性能指標之一,JS3000B 的垂直分辨率可達到較低的納米級別,水平分辨率也處于行業內常用的精細水平,能夠捕捉到樣品表面細微的形貌變化。測量速度方面,設備提供多檔可選模式,快速模式適用于初步篩查,精細模式則用于獲取更準確的數據,不同模式下的測量時間會根據樣品尺寸和參數設置有所不同。
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