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光學(xué)顯微鏡
基恩士
VK-X3000基恩士共聚焦顯微鏡從數(shù)據(jù)采集到智能分析
基恩士共聚焦顯微鏡從數(shù)據(jù)采集到智能分析微電子制造對形貌檢測的精度與效率要求嚴(yán)苛,基恩士VK-X3000通過硬件優(yōu)化與算法升級,成為晶圓檢測、封裝分析等環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。
產(chǎn)品分類
基恩士共聚焦顯微鏡從數(shù)據(jù)采集到智能分析
基恩士VK-X3000的軟件系統(tǒng)集成292種分析工具,覆蓋形貌測量、粗糙度計(jì)算、缺陷分類等全流程需求,其功能設(shè)計(jì)凸顯實(shí)用性。
三維重建與可視化
軟件支持“彩色超深度"“光量超深度"“高低圖"三種成像模式,用戶可通過滑塊調(diào)節(jié)對比度與色彩映射范圍。在分析陶瓷電容器的端面形貌時,高低圖可清晰顯示鍍層邊緣的毛刺高度分布,而彩色模式則能區(qū)分基材與鍍層的反射率差異。動態(tài)三維顯示功能允許旋轉(zhuǎn)、縮放模型,并支持導(dǎo)出STL格式文件用于3D打印驗(yàn)證。
粗糙度分析標(biāo)準(zhǔn)化
系統(tǒng)內(nèi)置ISO、ASME、DIN等12種國際標(biāo)準(zhǔn),可自動計(jì)算Sa(算術(shù)平均高度)、Sq(均方根高度)、Sz(最大高度)等30余項(xiàng)參數(shù)。針對汽車發(fā)動機(jī)缸套的表面紋理分析,軟件能生成符合ISO 13565-2標(biāo)準(zhǔn)的 Abbott-Firestone曲線,量化儲油性能與耐磨性關(guān)聯(lián)。某零部件供應(yīng)商通過該功能,將缸套加工工藝的CpK值從1.0提升至1.67。
多文件對比與批次管理
數(shù)據(jù)庫模塊支持存儲無測量報告,用戶可通過關(guān)鍵詞檢索歷史數(shù)據(jù)。在半導(dǎo)體晶圓批次檢測中,系統(tǒng)可自動對齊不同樣品的坐標(biāo)系,高亮顯示形貌差異超過閾值的區(qū)域。某存儲芯片廠商利用該功能,將晶圓間厚度均勻性波動從3%壓縮至1.2%。
AI輔助測量與自動化
RPDII算法可基于樣本反射率特征自動優(yōu)化掃描參數(shù),在檢測高反光金屬鍵合點(diǎn)時,系統(tǒng)將激光功率降低40%以避免探測器飽和,同時提升采樣密度至2000點(diǎn)/mm2。AAGⅡ算法則能動態(tài)調(diào)整增益,在分析低反射率聚合物表面時,信噪比提升25dB,確保0.5μm級缺陷的可靠檢測。
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