ZYGO光學輪廓儀應用:覆蓋多行業(yè)檢測場景
Nexview™ NX2光學輪廓儀憑借靈活的測量能力與穩(wěn)定的性能,廣泛應用于半導體、光學制造、汽車、生物醫(yī)學、科研等多個行業(yè),為不同領域的檢測需求提供支持。在半導體行業(yè),設備可用于芯片制造過程中的多個環(huán)節(jié)檢測,如晶圓表面平整度測量,采用白光干涉技術,縱向分辨率達 0.05nm,能精準檢測晶圓表面的微小起伏,為后續(xù)光刻工藝提供數(shù)據(jù)依據(jù);芯片封裝過程中的焊球高度與間距測量,通過共聚焦技術清晰捕捉焊球的三維形貌,軟件自動計算焊球高度、直徑與間距,識別焊球偏移、高度異常等缺陷,保障芯片封裝質量。光學制造領域,針對透鏡、棱鏡、反射鏡等光學元件的檢測,設備通過白光干涉技術測量元件表面的面型誤差,如平面度、曲率半徑等參數(shù),精度滿足光學元件的加工要求;同時可檢測光學鍍膜的厚度與均勻性,通過分析鍍膜前后樣品表面的高度變化,計算鍍膜厚度,幫助廠家把控鍍膜工藝質量,減少因鍍膜不均勻導致的光學性能偏差。汽車行業(yè)中,設備可用于發(fā)動機氣門、活塞、軸承等關鍵零部件的表面粗糙度與磨損檢測,采用動態(tài)測量技術,在零部件輕微振動的情況下仍能穩(wěn)定采集數(shù)據(jù),快速獲取表面粗糙度參數(shù),評估零部件的磨損程度,為零部件的壽命預測與質量控制提供支持。
生物醫(yī)學領域,防磁夾具與無菌處理功能讓設備可用于人工關節(jié)、牙齒種植體等醫(yī)療器械的表面形貌檢測,人工關節(jié)表面的微觀紋理直接影響其耐磨性與生物相容性,設備通過共聚焦技術清晰呈現(xiàn)紋理結構,測量紋理深度、密度等參數(shù),幫助研發(fā)人員優(yōu)化關節(jié)表面設計;生物芯片的微通道結構檢測中,高分辨率成像可清晰呈現(xiàn)微通道的寬度、深度與內(nèi)壁平整度,確保微通道符合液體流動與反應需求,保障生物芯片的檢測性能??蒲袑嶒炇抑?,設備的多模式測量能力與靈活的參數(shù)設置,滿足材料科學、納米技術等領域的研究需求,如納米涂層的厚度與附著力測量、新型材料表面改性后的形貌變化分析等,為科研人員提供可靠的實驗數(shù)據(jù),助力科研項目推進。
ZYGO光學輪廓儀應用:覆蓋多行業(yè)檢測場景