ZYGO光學輪廓儀結構與參數:可靠的測量基礎
Nexview™ NX2 光學輪廓儀采用臺式一體化結構設計,機身尺寸約 620mm×580mm×750mm,重量約 80kg,無需專用的大型安裝場地,普通實驗室操作臺即可放置,節省空間資源。機身外殼選用高強度鋁合金材料,經過陽極氧化處理,表面形成堅硬的氧化膜,具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能,長期使用后仍能保持外觀整潔,同時鋁合金材質的散熱性能較好,有助于設備內部元件保持穩定工作溫度。
核心光學系統密封在獨立的防塵防潮艙內,艙體采用雙層密封結構,內層為橡膠密封膠條,外層為金屬蓋板,有效防止灰塵、水汽進入光學系統內部,避免光學元件污染影響測量精度;艙體側面設有觀察窗,采用高透光率光學玻璃,方便用戶觀察測量過程中樣品的狀態。鏡頭接口采用標準化設計,兼容 10 種常用倍率的物鏡,從 2.5x 到 100x 不等,更換物鏡時只需輕輕旋轉鏡頭即可完成裝卸,軟件會自動識別物鏡型號并匹配相應的測量參數,無需手動校準,減少操作時間。
樣品臺是設備的關鍵結構,采用精密滾珠絲杠傳動,導軌表面覆蓋聚四氟乙烯耐磨涂層,減少摩擦損耗,延長使用壽命,同時保證移動的平穩性。樣品臺 X 軸與 Y 軸的移動范圍均為 120mm,Z 軸移動范圍為 60mm,搭配高精度光柵尺,移動精度可達 0.02μm,能精準定位測量區域。以下為 Nexview™ NX2 核心參數表:
軟件方面,內置 ISO 4287、GB/T 1031 等國內外通用的測量標準算法,確保測量數據符合行業規范;支持與 CAD、MATLAB 等軟件的數據互通,方便用戶進行后續的數據分析與建模;同時提供自定義算法接口,專業用戶可根據需求開發專屬的數據分析算法,拓展設備的應用范圍。
ZYGO光學輪廓儀結構與參數:可靠的測量基礎