在材料表征實(shí)驗(yàn)中，樣品制備耗時(shí)、成像參數(shù)調(diào)試復(fù)雜、數(shù)據(jù)后處理繁瑣等問題常困擾科研人員。澤攸ZEM20Pro臺式掃描電鏡通過硬件創(chuàng)新與軟件智能化，構(gòu)建了從樣品加載到圖像分析的全流程高效解決方案。

樣品處理：兼容性與便捷性

ZEM20Pro的樣品倉采用開放式設(shè)計(jì)，支持直徑120mm以內(nèi)、高度75mm的塊狀樣品直接觀察，非導(dǎo)電樣品可通過選配的減速模式（0-10kV樣品臺電壓）實(shí)現(xiàn)無噴金成像，減少制備步驟。樣品臺移動范圍覆蓋X軸60mm、Y軸55mm，配合光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)，可在低倍率下快速定位感興趣區(qū)域，避免高倍掃描時(shí)的視野丟失。

成像參數(shù)：動態(tài)適配實(shí)驗(yàn)需求

設(shè)備提供三級操作模式：

1. 快速篩查：512×512像素視頻模式，實(shí)時(shí)預(yù)覽樣品表面形貌；

2. 精細(xì)分析：2048×2048像素慢掃模式，積分時(shí)間可調(diào)以優(yōu)化信噪比；

3. 動態(tài)監(jiān)測：原位實(shí)驗(yàn)中，艙內(nèi)攝像頭以30幀/秒記錄樣品形變過程，同步采集圖像與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

用戶可根據(jù)樣品特性靈活調(diào)整加速電壓（3kV-20kV）和探針電流，在分辨率與樣品損傷之間取得平衡。例如，觀察聚合物材料時(shí)，采用5kV低電壓模式可減少電子束充電效應(yīng)；分析金屬晶界時(shí)，20kV高電壓模式可提升圖像對比度。

數(shù)據(jù)后處理：從采集到報(bào)告的一鍵生成

ZEM20Pro配套軟件內(nèi)置圖像標(biāo)注、尺寸測量及三維重構(gòu)工具，支持用戶對采集的BMP/TIFF格式圖像進(jìn)行線性/面積標(biāo)定。實(shí)驗(yàn)報(bào)告模板可自定義添加樣品信息、成像參數(shù)及分析結(jié)論，導(dǎo)出PDF格式直接用于論文撰寫。對于原位拉伸實(shí)驗(yàn)，軟件可自動生成應(yīng)力-應(yīng)變曲線與對應(yīng)圖像的時(shí)間軸關(guān)聯(lián)圖，簡化數(shù)據(jù)解讀流程。

典型應(yīng)用案例

• 鈣鈦礦太陽能電池：通過BSE探測器區(qū)分鈣鈦礦層、電子傳輸層與空穴傳輸層的成分差異，結(jié)合EDS分析鉛元素分布均勻性。

• MEMS器件檢測：利用五軸樣品臺傾斜功能，觀察微機(jī)械結(jié)構(gòu)側(cè)壁的加工缺陷，測量線寬誤差<50nm。

• 藥物載體表征：在冷臺上凍結(jié)脂質(zhì)體溶液，捕捉納米顆粒的團(tuán)聚行為，評估載體穩(wěn)定性。

維護(hù)與擴(kuò)展：降低長期使用成本

ZEM20Pro的單晶鎢燈絲壽命達(dá)1500小時(shí)，是傳統(tǒng)燈絲的3倍以上；分子泵與機(jī)械泵組合的真空系統(tǒng)支持7×24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，故障率低于0.5%。設(shè)備預(yù)留EDS、EBSD等分析探頭接口，用戶可根據(jù)需求逐步升級功能模塊，避免一次性高投入。