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產品簡介
ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面測量方案?在現代質量控制實驗室中，測量儀器不僅要提供可靠數據，還需兼顧效率與易用性。ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀正是基于這樣的理念而設計，旨在成為生產線旁或研究實驗室里的一款實用工具。
ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面測量方案
在現代質量控制實驗室中，測量儀器不僅要提供可靠數據，還需兼顧效率與易用性。ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀正是基于這樣的理念而設計，旨在成為生產線旁或研究實驗室里的一款實用工具。
該產品的核心性能體現在其平衡的測量能力上。它能夠處理從相對光滑到相當粗糙的各種表面，這得益于其自動切換的VSI和PSI兩種模式。對于大范圍、高陡度的形貌，VSI模式可以快速完成測量；而對于超光滑表面納米級的細微起伏，PSI模式則能提供其細節信息。
在用料方面，ZeGage Pro的干涉鏡組由多層鍍膜的高質量光學玻璃制成，旨在優化光路效率和減少雜散光。精密導軌和驅動系統確保了樣品掃描的平穩與定位的準確性。整體外殼不僅起到保護作用，其設計也考慮了電磁兼容性和散熱需求。
其典型型號可能包含以下配置：
項目 | 描述 |
|---|---|
系統型號 | ZeGage™ Pro (根據配置有不同的型號代碼) |
測量技術 | 白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI) |
Z向噪聲水平 | < 0.1 nm (PSI模式) |
XY重復性 | 優于 ± 0.5 μm |
數據獲取速度 | 每秒可獲取數千個數據點 |
軟件平臺 | MetroPro® 測量與分析軟件 |
ZeGage Pro的用途聚焦于精密計量。它可用于測量集成電路芯片的引線高度、硅片的翹曲度、光學鏡面的面形誤差、MEMS器件的結構尺寸、涂層厚度、摩擦磨損分析等，是連接研發設計與生產制造的重要質檢環節。
使用說明強調了自動化與可重復性。用戶只需簡單培訓即可上手操作。流程通常為：開機預熱、將樣品固定在載物臺上、在軟件中選擇預設的測量程序或自定義參數、啟動自動測量。儀器可自動對焦、識別特征并完成掃描。分析模塊允許用戶自定義測量報告格式，并保存工作流程，便于對同類零件進行批量檢測。
ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀通過其綜合性能與用戶友好設計，致力于幫助用戶提升表面質量檢測的效率和數據的價值。
ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面測量方案