澤攸電鏡集成化分析的電鏡系統(tǒng)

產品簡介

澤攸電鏡集成化分析的電鏡系統(tǒng)
在半導體行業(yè)，EM2000 可用于芯片表面的缺陷檢測，快速定位劃痕、污染等問題；在材料科學領域，能觀察復合材料的界面結構，分析相分布情況；在地質研究中，可識別礦物顆粒的微觀形態(tài)，輔助礦物鑒定。其高效的工作能力與精準的成像效果，為各領域的研究與生產提供了有力支持。

產品型號：

更新時間：2025-08-25

廠商性質：代理商

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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澤攸電鏡集成了掃描電鏡與能譜分析功能，形成一套完整的微觀分析系統(tǒng)，能同時提供樣品的形貌信息與成分信息。電子光學系統(tǒng)采用雙聚光鏡設計，可靈活調節(jié)電子束斑大小，滿足不同分辨率與束流的需求。鏡筒外壁包裹多層隔熱材料，減少環(huán)境溫度變化對電子光學系統(tǒng)的影響。澤攸電鏡集成化分析的電鏡系統(tǒng)

加速電壓 5kV-30kV，二次電子像分辨率 3nm（30kV），背散射電子像分辨率 4nm（30kV）。配備的能量色散 X 射線譜儀（EDS），探測器面積 10mm2，能量分辨率 129eV，可檢測元素范圍從 B 到 U，元素定量分析誤差小于 5%。

樣品臺為五軸聯(lián)動設計，移動范圍 X/Y 50mm×50mm，Z 軸 20mm，傾斜角度 - 10° 至 60°，旋轉 360°，支持樣品的多角度成分分析。設備采用模塊化設計，EDS 探測器可根據需求拆卸，便于后期升級或維護。機身采用鋁合金框架與鑄鐵底座組合結構，既保證了整體剛性，又減輕了設備重量。

操作軟件支持形貌成像與成分分析的聯(lián)動控制，可在觀察形貌的同時進行點分析、線掃描或面掃描，實時獲取元素分布圖譜。軟件內置標樣數(shù)據庫，包含多種標準樣品的成分數(shù)據，可自動校準分析結果，提高定量分析的準確性。

使用時，需先對 EDS 系統(tǒng)進行能量校準與效率校準，確保成分分析的可靠性。在金屬材料分析中，EM3000 可用于識別夾雜物的成分，判斷其來源；在陶瓷材料研究中，能分析晶粒與晶界的成分差異，探究燒結機理；在考古領域，可通過分析文物表面涂層的成分，推斷其制作工藝。這套集成化系統(tǒng)為用戶提供了從形貌觀察到成分分析的一站式解決方案，減少了樣品轉移過程中的誤差，提高了分析效率。澤攸電鏡集成化分析的電鏡系統(tǒng)

上一個：澤攸電鏡兼顧效率與細節(jié)的電鏡